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牧村 哲也 / Makimura, Tetsuya

数理物質系 准教授 / Associate Professor, Faculty of Pure and Applied Sciences

 

論文 / Publication

  1. Micrometer-Scale Photo-Direct Machining of Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma EUV Radiations H. Urai, T. Makimura, M. Ogawa 202 383 - 386 (2018)
  2. Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm Thanh Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Takeshi Higashiguchi 87 (12) (2016)
  3. Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses Ragava Lokasani, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Takeo Ejima, Tadashi Hatano, Weihua Jiang, Tetsuya Makimura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Takeshi Higashiguchi, Jiri Limpouch 109 (19) (2016)
  4. 高パワー密度狭帯域軟X線加工装置の開発とシリコーンゴムの微細加工 鳥居, 周一, 牧村, 哲也, 村上, 浩一, 岡崎, 功太, 中村, 大輔, 岡田, 龍雄, 高橋, 昭彦, 新納, 弘之 電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2012 (1) 5 - 8 (2012)
  5. 国際会議報告 LPM2011会議報告 杉岡, 幸次, 新納, 弘之, 牧村, 哲也 レーザ加工学会誌 19 (1) 42 - 50 (2012)
  6. Silica ablation process induced by focused laser plasma soft x-rays Tetsuya, Makimura, Shuichi, Torii, Hiroyuki, Niino, Kouichi, Murakami Proceedings of SPIE 8206 (2012)
  7. Ablation of Silica Glass Induced by Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation Tetsuya Makimura, Takashige Fujimori, Shuichi Torii, Hiroyuki Niino, Kouichi Murakami 94 (9) 30 - 35 (2011)
  8. Sub-wavelength micromachining of silica glass by irradiation of CO2 laser with Fresnel diffraction K. Okazaki, S. Torii, T. Makimura, H. Niino, K. Murakami, D. Nakamura, A. Takahashi, T. Okada 104 (2) 593 - 599 (2011)
  9. Micromachining of Polymethylmethacrylate and Polydimethylsiloxane Using Laser Plasma Soft X-rays S., Torii, K., Okazaki, D., Nakamura, T., Makimura, T., Okdada, H., Niino, K., Murakami Journal of Laser Micro/Nanoengineering 6 235-238 (2011)
  10. Micromachining of Transparent Materials with Fresnel Diffraction of Infrared Radiation K. Okazaki, S. Torii, T. Makimura, H. Niino, K. Murakami, D. Nakamura, A. Takahashi, T. Okada 5 (3) 269 - 272 (2010)

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知財 / Intellectual properties

  1. 特願2004-034343 : 軟X線加工装置及び軟X線加工法 牧村哲也, 村上浩一
  2. PCT/JP02/11813 : Photo machining apparatus and photo machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-pattering 牧村哲也
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